Püskürtme
Püskürtme,[1] bir malzemenin, bir plazma ya da gazın enerji yüklü parçacıklarıyla bombardımanı sonrasında, o malzemenin yüzeyindeki mikroskobik parçacıkların atılmasıdır.[2]
Kaynakça
- ^ Akan, Tamer (2002). "Bakır buharı termiyonik vakum ark deşarjın karakteristikleri". İTÜ Dergisi. 1 (1). 17 Ocak 2021 tarihinde kaynağından arşivlendi. Erişim tarihi: 13 Ağustos 2022.
- ^ Behrisch, R., (Ed.) (1981). Sputtering by Particle bombardment (İngilizce). Berlin: Springer. ISBN 978-3-540-10521-3.
